Як життєво важливомолібденові стрижні для напівпровідникової промисловостістабільність розмірів?
У цехах з вирощування монокристалічного кремнію або сапфіру процес витягування кристалів часто займає десятки або навіть сотні годин, а температурне поле потрібно точно контролювати вище 1400 градусів. Як тільки компонент теплового поля деформується навіть на 0,5 мм, діаметр кристала може коливатися, щільність дислокацій може збільшуватися, а коефіцієнт текучості буде безпосередньо знижений. Найбільшим головним болем для багатьох інженерів є не раптовий розрив, а «невидима» повзучість і накопичення тепла.
Серед них молібденові стрижні використовуються як основні конструкційні матеріали опорних стрижнів теплового поля, затискачів затравкових кристалів або нагрівальних компонентів, і їх стабільність розмірів при низькій-нагріванні та високій-температурі стала вирішальним фактором. Термічний коефіцієнт самого молібдену дуже низький, але продуктивність молібденових стрижнів із різною чистотою та технологією обробки значно змінюється під -тривалою високою температурою та вакуумом. Звичайні спечені молібденові стрижні схильні до мікро-подовження, спричиненого ростом зерен після повторних термічних циклів, тоді як стрижні молібдену високої-чистоти, які пройшли багато-направлене кування та високо-температурний відпал, мають більш рівномірну орієнтацію зерна та значно покращений опір повзучості. Кумулятивна деформація контролюється в дуже малому діапазоні.
Ми використовували фабрику, яка виготовляла 6--дюймові сапфірові стрижні. Спочатку використовувалися звичайні опорні стрижні з молібдену. Теплове поле доводилося калібрувати кожні кілька витягнутих кристалів, і коефіцієнт виходу коливався близько 65%. Пізніше, після заміни молібденового стрижня напівпровідникового класу нашою оптимізованою зернистою структурою, час безперервного витягування в одній печі було подовжено, коливання теплового поля було значно зменшено, консистенція діаметра готового кристала була покращена, а загальний вихід зріс майже на 15 процентних пунктів. Менша заміна компонентів і менше коригування параметрів забезпечують не тільки зниження витрат, але й стабільність ритму виробництва.
Чому цей момент такий критичний? Оскільки ріст напівпровідникових кристалів є типовим процесом «повільної та тонкої роботи», будь-який невеликий дрейф розміру посилюватиметься через температурний градієнт і, нарешті, відображатиметься в кристалічних дефектах. Високо-якісні молібденові стрижні мінімізують ризик цього дрейфу, дозволяючи інженерам-технологам більш впевнено зосереджуватися на швидкості й контролі заливки, а не турбуватися про деформацію конструкції.
На нинішньому швидкому етапі великого-розміру кристалів і третього-покоління напівпровідникових матеріалів вимоги до стабільності обладнання ставатимуть дедалі вищими. Молібденовий стрижень без різниці на поверхні може фактично визначити, скільки кваліфікованих пластин виробляється щомісяця.
Якщо ви проводите технічне обслуговування обладнання для вирощування монокристалів, модернізацію теплового поля чи вибір нового проекту, розкажіть мені про стабільність теплового поля чи проблеми з кристалами, з якими ви зараз стикаєтеся. Ми можемо поєднати конкретну температурну криву та структуру обладнання, щоб надати більш цілеспрямований матеріал молібденового стрижня та пропозиції щодо обробки, щоб допомогти повністю контролювати «невидимі» приховані небезпеки деформації.
Стабілізуйте теплове поле, і кристал буде рости добре природним чином-це головна мета наших інвестицій у напівпровідникові молібденові стрижні.
Ава
