Запит від клієнта Aisa
Сьогодні вранці ми отримали цінову пропозицію на веб-сайті нашої компанії, клієнт походить з азіатського ринку, і він зацікавлений у нашому продукті щодо мішеней для радіочастотного (РЧ) розпилення молібдену високої чистоти.
Специфікація продукту замовника — металева молібденова мішень діаметром 50,8 мм (2 дюйми) і товщиною 5 мм із чистотою 99,95% (3N5).
Форма молібденової мішені для напилення, яку він запитав, — це плоска кругла молібденова мішень, це найпоширеніша форма круглої молібденової мішені.
І його вимога про площинність була площинністю менше або дорівнює 0,05 мм, а також потрібна гладка поверхня, придатна для радіочастотного магнетронного розпилення; і відсутність тріщин, пор на поверхні або окислення за запитом.
Які цільові продукти з чистого молібдену ми можемо запропонувати?
• Чистота: 3N5 (99,95% чистота ) - 4N (99,99% чистота)
- Mo1: більше або дорівнює 99,95% Mo (3N5), в основному використовується для промисловості, наприклад для дисплеїв / фотоелектричних систем / загального покриття
- Mo2: більше або дорівнює 99,9% Mo (3N), основне використання для-рентабельності, для загального покриття/декоративних плівок
- Mo3: більше або дорівнює 99,5% Mo (2N5), широко використовується для низько-дослідницьких програм
- Висока чистота/надвисока чистота (4N молібден: 99,99%), в основному використовується для напівпровідників/OLED/високо{3}}точних плівок
Основні фізичні властивості (найважливіші)
• Щільність: 10,2 г/см³ (теоретична), невелика кількість пор, непросте «розпилення порошку» та ненормальний розряд (дуга)
• Температура плавлення: 2620 градусів, надзвичайно стабільна термічно; і не легко деформується під час напилення з сильною адгезією.
• Теплопровідність: 138–142 Вт/(м·К), швидке розсіювання тепла, швидке розсіювання тепла, добре-для напилення високої потужності
• Коефіцієнт теплового розширення: ~4,9 × 10⁻⁶ / градус, дуже низький і може призвести до мінімального теплового удару та стабільності розмірів
• Питомий опір: ~5,2 мкОм·см, дуже хороша електропровідність і стабільне горіння дуги
• Міцність на розрив ~540 МПа
. Твердість за Віккерсом ~250 HV, з певною пластичністю процесу та перевагами тонкої плівки
• Цільові зерна 50–100 мкм, забезпечуючи рівномірну ерозію розпилення та мінімальне осипання частинок
Звичайний допуск на розмір для нашого продукту змінюється залежно від різних діаметрів
| Діаметр | Товщина |
| φ25.4(1") | 2/3 |
| φ50.8(2") | 3/5 |
| φ76.2(3") | 3/4/5 |
| φ101.6 | 4/5/6 |
| φ150 | 5/6/8 |
| φ200 | 6/8/10 |
Зверніть увагу: φ300 - товщина 8/10/12 мм або індивідуальна.
Допуски на розміри (GB/T 14592-2014 + промисловий стандарт)
| Діапазон діаметрів | Допуск на діаметр (мм) |
| φ10-30 | ±0.10 |
| φ30-50 | ±0.14 |
| φ50-80 | ±0.16 |
| φ80-300 | ±0.20 |
Please note : >φ300: ±0,30 (торгується)
Допуски на форму та положення (важливо, критично, що впливає на рівномірність напилення)
•Площинність молібденового диска: менше або дорівнює 0,03 мм/100 мм (High-End); Менше або дорівнює 0,1 мм/100 мм (стандарт)
• Округлість: менше або дорівнює 0,05 мм
• Паралельність: менше або дорівнює 0,05 мм
Шорсткість поверхні чистого молібдену
• Стандарт: Ra менше або дорівнює 0,8 мкм
• High-End: Ra менше або дорівнює 0,4 мкм (вимоги до напівпровідника/високої однорідності)
FAQ
Окрім мішені для розпилення молібдену, яку ви можете надати, можуть бути й інші матеріали?
Так, у нас є вольфрам, молібден, титан, тантал, ніобій, цирконій, нікель тощо кольорові метали.
